مواد و ساخت پیشرفته

تحولات معاصر در دیجیتالی شدن و اینترنتی شدن وسایل، تقاضاهای زیادی برای گروه زیادی از سنسورها را ایجاد می‌کند. علاوه بر عملکرد اندازه‌گیری برجسته، بسیاری از کاربردهای موردنیاز کوچک‌سازی سنسور، همراه با ویژگی‌های حاضر مانند قیمت پایین و قابلیت اطمینان بالا دارند.همه این موارد را می‌توان با استفاده از فناوری‌ها و فنّاوری‌های میکروسیستمی، که از سیلیکون بلوری به‌عنوان ماده پایه استفاده می‌کنند، به دست آورد.
در طی چند دهه گذشته، میکروالکترونیک‌ها به‌طور پیوسته‌ای، با قابلیت اطمینان و کارایی بالاتری، درنتیجه استفاده از دقت بالای سیلیکون و استفاده از روش‌های لیتوگرافی، کوچک‌سازی (مینیاتوری) شده‌اند.
قابلیت تکرار بالای این فناوری و ادغام بسیاری از دستگاه‌ها در یک‌لایه، ویژگی‌های برتری را ایجاد می‌کند. علاوه بر آن، برای سنسورهای پیشرفته و محرک‌های پیشرفته، عملکردهای چندگانه مکانیکی به دستگاه‌ها واردشده است، که معمولاً به‌عنوان سیستم‌های میکروالکترومکانیکی (MEMS) شناخته می‌شوند.
اخیرا تحولات زیادی در استفاده از پلاسما به‌عنوان یک تکنیک حکاکی برای سیلیکون صورت گرفته است.
علاوه بر آن، رسول لایه‌های نازک توسط تکنیک‌های پلاسما، مانند پاشش (Sputtering) یا رسوب شیمیایی بخار بهبودیافته با پلاسما (PECVD)، فرایندهای حکاکی مانند حکاکی بسیار ناهمسانگرد سیلیکون توسط حکاکی عمیق یون واکنش‌پذیر (DRIE)، تولید MEMS میکروماشین کاری شده سطحی را امکان‌پذیر کرده است که به یک سناریوی بزرگ موفق تجاری تبدیل شده است.
منبع:
https://www.advancedsciencenews.com/the-success-of-plasma-for-microfabrication/